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掩膜版，是微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移母版，是平板顯示、半導(dǎo)體、觸控、電路板等行業(yè)生產(chǎn)制造過程中重要的關(guān)鍵材料。掩膜版的作用是將設(shè)計(jì)者的電路圖形通過曝光的方式轉(zhuǎn)移到下游行業(yè)的基板或晶圓上，從而實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。

表：掩膜版下游行業(yè)及應(yīng)用表

面板的世代數(shù)是按照產(chǎn)線所應(yīng)用的玻璃基板的尺寸劃分，總體來說，面板代數(shù)越高，面板的玻璃基板尺寸越大，切割的屏幕數(shù)目越多，利用率和效益就越高。號(hào)稱“OLED行業(yè)光刻機(jī)”的FMM精密金屬掩膜版（Fine Metal Mask，后簡(jiǎn)稱FMM）長(zhǎng)年受制于海外單一供應(yīng)商的狀態(tài)，近些年FMM國(guó)產(chǎn)化陸續(xù)出現(xiàn)新進(jìn)展。

FMM是Fine Metal Mask的簡(jiǎn)稱，中文名稱為精細(xì)金屬掩膜版，它是一層薄薄的金屬，上面布滿了密密麻麻的孔洞。在AMOLED面板制造流程中，為實(shí)現(xiàn)RGB子像素單獨(dú)發(fā)光，蒸鍍過程需要用到FMM。在蒸鍍的時(shí)候，將FMM貼緊LTPS背板，將FMM上的孔洞對(duì)準(zhǔn)需要蒸鍍有機(jī)層的像素區(qū)，就可以在指定的像素區(qū)上沉積有機(jī)薄膜。

圖：FMM工作原理：RGB通過FMM分別蒸鍍

檢測(cè)掩膜版的CD均勻性、套合精度、缺陷大小、潔凈度等。

通過低倍物鏡（5X-20X）實(shí)現(xiàn)快速全域掃描與可疑目標(biāo)粗定位，利用高倍物鏡（50X-100X）完成亞微米級(jí)精密檢測(cè)。

相機(jī)：大靶面工業(yè)相機(jī)

傳感器：慕藤光660nm線激光對(duì)焦傳感MALF-7V

鏡管：大視場(chǎng)鏡管MT-M44-S

直線物鏡切換器：MLC-5H（2XXXX(X）

圖：慕藤光大視場(chǎng)多倍率自動(dòng)對(duì)焦光學(xué)系統(tǒng)

圖：FMM檢測(cè)效果圖

在新型顯示產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化攻堅(jiān)的決勝時(shí)刻，慕藤光智能成像光學(xué)系統(tǒng)已不僅是FMM檢測(cè)的"火眼金睛"，更成為打破海外技術(shù)壟斷的利器。當(dāng)高效與精準(zhǔn)成為產(chǎn)業(yè)突圍的關(guān)鍵，這場(chǎng)技術(shù)攻堅(jiān)既見證著國(guó)產(chǎn)替代的必然進(jìn)階，更昭示著中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)在全球格局中的崛起之勢(shì)。慕藤光以自主創(chuàng)新的光學(xué)智造力，持續(xù)賦能產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)，助力中國(guó)屏顯點(diǎn)亮世界，重塑產(chǎn)業(yè)新格局。