Preface
全球顯示面板產(chǎn)業(yè)規(guī)模在極速擴(kuò)大,目前主流的平面顯示技術(shù)主要包括LCD(液晶顯示技術(shù))、OLED(有機(jī)發(fā)光二極管顯示技術(shù))、QLED(量子點(diǎn)發(fā)光二極管)、Mini LED(微小發(fā)光二極管顯示技術(shù))以及Micro LED(微米發(fā)光二極管顯示技術(shù))。
顯示平板的制造流程較為復(fù)雜,可分為Array制程、Cell制程及Module制程三大階段,復(fù)雜的工藝過(guò)程中不可避免地產(chǎn)生各種表面缺陷,包括灰塵、臟污、劃痕等,這些缺陷的存在可能對(duì)顯示面板的功能和外觀造成影響。
面板邊緣缺陷明暗場(chǎng)檢測(cè)
檢測(cè)需求
檢測(cè)需求:對(duì)面板的芯片和基板封裝后進(jìn)行邊緣缺陷檢測(cè)
對(duì)焦精度:<1μm
跟焦速度:<30ms
檢測(cè)方式:線激光對(duì)焦光學(xué)系統(tǒng)明暗場(chǎng)檢測(cè)
檢測(cè)原理
通過(guò)環(huán)形光源的明暗場(chǎng)照明方式,明場(chǎng)照明模式,通過(guò)垂直均勻光照呈現(xiàn)樣本形態(tài),檢測(cè)面板外觀良好;通過(guò)暗場(chǎng)照明方式激發(fā)散射光成像,顯著增強(qiáng)樣品微小顆粒與表面細(xì)節(jié)對(duì)比度,適用于裂紋、劃痕等缺陷。
圖:慕藤光紅外對(duì)焦成像解決方案原理
視覺方案
物鏡:5X物鏡
相機(jī):彩色相機(jī)
光源:明暗場(chǎng)環(huán)形光源
掃描速度:120mm/s
圖:慕藤光激光自動(dòng)對(duì)焦明暗場(chǎng)解決方案-面板邊緣缺陷檢測(cè)應(yīng)用
檢測(cè)效果
圖:面板邊緣外弧-暗場(chǎng)檢測(cè)測(cè)效果圖
圖:面板孔區(qū)裂痕-明場(chǎng)檢測(cè)效果圖
Mini LED芯片缺陷檢測(cè)
檢測(cè)需求
檢測(cè)需求:識(shí)別并檢測(cè)缺陷的Mini LED芯片
樣品:Mini LED芯片
離焦距離:100-200um
對(duì)焦時(shí)間:1-1.5s
檢測(cè)原理
慕藤光圖像對(duì)焦檢測(cè)是建立在圖像AI算法模式上的調(diào)焦方法,能夠?qū)︾R頭與傳感器采集的圖像進(jìn)行實(shí)時(shí)分析和處理,進(jìn)而控制運(yùn)動(dòng)軸進(jìn)行移動(dòng)完成聚焦,覆蓋±150um至±1mm大搜索范圍,實(shí)現(xiàn)大范圍內(nèi)的快速對(duì)焦檢測(cè)。
圖:慕藤光圖像對(duì)焦檢測(cè)原理
視覺方案
相機(jī):CameraLink工業(yè)相機(jī)
鏡頭:MF200-C-S
物鏡:MA-10F (20X)
圖像對(duì)焦傳感器:MIAF-500
光源:MV-IW
圖像格式:2432*2048
檢測(cè)效果
圖:Mini LED晶圓缺陷芯片檢測(cè)
OLED柔性面板均勻度修復(fù)檢測(cè)
檢測(cè)需求
OLED柔性面板生產(chǎn)中,屏幕高度不一致時(shí)需要對(duì)焦
檢測(cè)原理
針對(duì)面板屏幕高度存在差異的情況,依據(jù)圖像對(duì)焦原理中對(duì)物體距離建模及成像焦點(diǎn)計(jì)算機(jī)制,慕藤光圖像對(duì)焦傳感器MIAF-500可在1-2s內(nèi)對(duì)傳感器采集的圖像進(jìn)行實(shí)時(shí)分析,快速響應(yīng),解決±150um范圍的精準(zhǔn)調(diào)節(jié)對(duì)焦,進(jìn)而精準(zhǔn)檢測(cè)屏幕顯示均勻度。
視覺方案
圖:OLED面板均勻度修復(fù)-慕藤光圖像對(duì)焦視覺方案
檢測(cè)效果
圖:OLED柔性面板均勻度檢測(cè)圖
產(chǎn)品參數(shù)
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